《真空系统工程 基础与应用》

前言1

主要符号1

第1章 真空的基本概念1

1.1 真空、压强、分子密度、蒸汽压1

前言页1

1.2 流量5

1.3 流导、气流10

参考文献15

第2章 气体分子运动论17

2.1 分子速度与速度分布17

2.2 平均自由程与碰撞频率20

2.3 碰撞于表面(壁面)的分子数21

2.4 气体的粘滞性23

2.5 气体的热传导、适应系数27

2.7 扩散与热扩散30

2.6 热流逸、泻流30

参考文献32

第3章 真空中的气流(I)33

3.1 分子流(1)--小孔的分子流33

3.2 分子流区域的条件34

3.3 分子流(2)--流过圆形管道的分子流35

3.4 粘滞流--流过圆形管道的粘滞流38

3.5 克努曾的实验公式40

3.6 喷流、湍流41

参考文献43

第4章 真空中的气流(Ⅱ)44

4.1 各种形状管道的流导44

4.2 连续管道、弯管、合成流导46

4.3 奥特莱传输几率的计算46

第5章 蒙特卡罗法的应用52

5.1 Davis的方法53

5.2 传输几率的计算与实例59

5.3 应用举例63

参考文献68

第6章 真空中的气流(Ⅲ)69

6.1 低真空区域的气流--低压气流70

6.2 压缩性--喷嘴及其气流73

6.3 在有摩擦的导管内的压缩性流动75

6.4 圆截面导管内稀薄气流--纳维-斯托克斯(Navier-Stokes)方程76

参考文献79

第7章 有关排气的二、三实验80

7.1 各真空区域的不同的排气方法80

7.2 阿尔玻特的实验--Ⅰ83

7.3 超高真空--极高真空的排气86

参考文献89

8.1 真空装置的放气和材料放气90

第8章 材料的放气90

8.2 放气量测量法(Ⅰ)--流量测量法92

8.3 放气量测量法(Ⅱ)--流导法97

8.4 放气量测量法(Ⅲ)--压强上升法104

8.5 各种材料及其放气107

参考文献119

第9章 气体分子和固体之间的有关现象(Ⅰ)120

9.1 物理吸附、吸附平衡、吸附式121

9.2 凝结系数、平均吸附时间、脱附127

9.3 物理吸附吸附量的测量131

参考文献138

第10章 气体分子和固体之间的有关现象(Ⅱ)139

10.1 化学吸附、粘附几率139

10.2 扩散143

10.3 渗透144

名词术语(日、英、中)对照表157