《精密测定器的机构设计》求取 ⇩

一、绪论1

1.1 精密测定器的课题1

1.2 机构设计及其重要性2

1.3 精密测定器的结构3

二、检测装置的机构设计7

2.1 关于检测装置设计方面的问题7

2.2 关于杠杆式放大机构的结构及放大倍率的研究8

2.2.1 杠杆式放大机构的结构及其样机9

2.2.2 简单杠杆放大倍率的变化15

2.2.3 复合杠杆放大倍率的变化18

2.2.4 由安装误差而产生的放大倍率的变化23

2.3 放大倍率变化小的杠杆式放大机构26

2.3.1 中间插入测量杆的组合杠杆27

2.3.2 互为直角方向配置的杠杆机构31

2.4 记录图形的失真33

2.4.1 记录图形的横向偏移33

2.4.2 放大记录装置机构设计的实例36

2.5.1 关于测量头的杠杆型夹持装置机构的理论研究42

2.5 接触式检测装置的动态测定力和追随特性42

2.5.2 关于杠杆式放大机构的理论研究46

2.5.3 追随特性的测定49

2.6 考虑到测定力和追随特性的新型机构的设计实例52

2.6.1 有表面反射镜的杠杆的新机构实例52

2.6.3 传感器的新机构实例57

2.7 本章小结61

三、运动部分的机构设计63

3.1 关于运动部分机构设计的若干问题63

3.2.1 关于以往的单一直线运动导向机构的研究65

3.2 单一运动导向机构的设计65

3.2.2 基本单元及其运动的约束72

3.2.3 基本单元组合的设计方法77

3.2.4 利用组合设计方法的单一直线运动的导向机构80

3.3 单一旋转运动导向机构的设计84

3.3.1 利用组合设计方法的机构85

3.3.2 单一旋转运动的导向机构(其一)--在α方向旋转的情况89

3.3.3 单一旋转运动的导向机构(其二)--在γ方向旋转的情况93

3.4.1 用组合设计方法的“复合运动的导向机构”的扩大应用96

3.4 复合运动导向机构的设计96

3.4.2 复合运动的导向机构(其一)--在(x-y)方向运动的情况98

3.4.3 复合运动的导向机构(其二)--在(x-γ)方向运动的情况101

3.4.4 复合运动的导向机构(其三)--在(x-α)方向运动的情况103

3.5 运动部分送进机构的设计104

3.5.1 微调、粗调的一体装置105

3.5.2 超微调装置106

3.6 本章小结108

四、应用本机构设计的精密测定器及其性能110

4.1 工具显微镜110

4.1.1 工具显微镜存在的问题110

4.1.2 新型工具显微镜的基本设计116

4.1.3 检测部分的机构设计及结构设计118

4.1.4 运动部分的机构设计及结构设计122

4.1.5 关于运动部分的支点位置的理论探讨133

4.1.6 关于结构设计的其他问题141

4.1.7 新型工具显微镜的特征及性能148

4.2.1 有关形状测定器的基本设计问题155

4.2 各种形状测定器155

4.2.2 真直度测定法分类和真直度测定器方面的问题157

4.2.3 记录式真直度测定器163

4.2.4 光学真直度测定器的光轴调整装置170

4.2.5 其它形状的测定器172

4.2.6 关于运动部分的支点位置的理论探讨178

4.3 触针式表面光洁度测定器184

4.3.1 机构设计上的问题184

4.3.2 光杠杆式表面光洁度测定器185

4.3.3 位移型电动式表面光洁度测定器199

4.4 接触式断面形状测定器209

4.4.1 薄膜阶梯差测定器210

4.4.2 轮廓测定器222

4.4.3 正圆度测定器228

4.5 误差的校正机构237

4.5.1 需要校正机构的理由237

4.5.2 各种校正机构239

参考文献241