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第一章 光学零件的真空镀膜1

一、真空基础知识1

1. 真空与真空镀膜1

2.真空的产生6

3.真空管道与阀门22

4.真空材料与密封24

5.真空测量29

1.概述31

二、真空镀膜机31

2.真空镀膜机的构成34

3.真空镀膜机的安装与调试38

4.真空镀膜机的使用和维护40

三、真空蒸镀方法45

1.电阻热蒸镀法45

2.电子束轰击热蒸镀法49

3.反应热蒸镀法53

1.目视法56

四、膜层厚度的检测56

2.光电极值法59

3.波长调制法61

4.石英晶体移频法64

5.差值指零法66

五、真空镀膜中工艺因素的影响68

1.薄膜的形成及膜层结构68

2.真空度对膜层的影响72

3.沉积速率对膜层的影响74

4.基片温度对膜层的影响75

5.基片表面的清洁处理76

6.膜层厚度均匀性及夹具设计82

六、真空镀增透膜93

1.增透膜的原理和应用93

2.单层氟化镁增透膜97

3.多层增透膜103

4.红外材料的增透膜112

七、真空镀反射膜115

1.金属反射膜115

2.介质高反射膜124

3.金属-介质反射膜135

八、真空镀分光膜136

1.金属中性分光膜137

2.介质中性分光膜140

3.偏振分光膜143

4.分色膜145

5.冷反光膜148

九、真空镀滤光膜152

1.光密度中性滤光膜152

2.带通干涉滤光膜153

3.截止滤光膜166

第二章 化学镀膜174

一、酸蚀法镀增透膜174

1.原理177

二、水解沉积法镀增透膜和分光膜177

2.硅酸乙酯及钛酸乙酯的制备178

3.镀膜工艺182

4.膜层疵病分析189

三、化学镀银191

1.原理191

2.镀银溶液的配制193

3.镀银工艺过程196

4.镀铜及涂保护层199

5.镀银过程中的工艺因素影响201

第三章 光学分划零件的刻划205

一、刻划零件及其刻划方法205

1.刻划零件种类205

2.刻划方法207

二、刻刀208

1.刻刀的材料208

2.刻刀的类型210

3.刻刀的制造与刃磨215

三、刻划设备221

1.刻划机类型及精度221

2.圆刻划机222

3.长刻划机237

4.缩放刻线机245

5.刻划机的维护251

四、机械法刻划251

1.圆刻机的校正251

2.长刻机的校正256

3.刻字机的校正257

4.度盘刻划工艺图示257

5.标尺刻划工艺图示260

五、机械-化学法刻划260

1.原理及过程260

3.耐酸保护蜡层261

2.零件材料261

4.腐蚀液265

5.填色颜料267

6.机械-化学法图示268

六、机械-物理法刻划269

1.原理与过程269

2.金属底层270

3.镀铬工艺图示271

4.真空镀黑铬工艺273

第四章 光学分划零件的照相274

一、照相方法原理274

二、照相设备275

1.暗室设备275

2.照相机械设备276

3.绘图设备278

4.光源设备279

1.初缩照相(湿片的工艺过程)281

三、照相及复制工艺281

5.照相复制设备281

2.精缩底版照相292

3.底版制取的其它方法296

4.几种常用的复制工艺299

第五章 光栅制造317

一、光栅概述317

1.计量光栅317

2.物理光栅325

1.机械刻划法制造计量光栅326

二、计量光栅的制造326

3.投影光刻计量光栅330

2.复制计量光栅331

三、物理学栅的制造353

1.刻划法制造物理光栅353

2.平面衍射光栅的复制356

3.全息光栅365

1.计量光栅检验374

四、光栅质量检验374

2.物理光栅检验382

第六章 光学零件的胶合388

一、粘接剂388

1.冷杉树脂胶389

2.甲醇胶390

3.环氧树脂胶393

二、胶合定中心396

三、胶合工艺409

1.冷杉树脂胶胶合工艺409

2.甲醇胶胶合工艺411

3.环氧树脂胶胶合工艺413

四、胶合疵病及其产生原因414

1.脱胶414

2.表面变形416

3.透过率低或胶层不洁419

4.透镜中心偏或棱镜角度超差420