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第一篇 概论1

第一章 光学零件的制造1

1—1 光学零件及其制造工艺1

一、光学零件的种类1

前言1

二、光学零件的制造过程4

1—2 特种加工零件的坯料12

一、材料12

二、技术要求18

复习题21

第二章 工艺的基本知识22

2—1 生产过程和工艺过程22

一、生产过程22

二、工艺过程23

一、工艺文件24

2—2 工艺文件与工艺纪律24

二、工艺纪律25

复习题25

第二篇 光学零件镀膜工艺基础26

第三章 概述26

3—1 光学零件的镀膜26

3—2 光学薄膜的分类和镀制方法27

一、光学薄膜的分类27

二、光学薄膜的镀制方法30

复习题31

第四章 真空获得和真空度测量32

4—1 真空与真空度32

4—2 获得真空的设备35

一、机械泵的结构与工作原理36

二、油扩散泵的结构和工作原理43

4—3 真空度的测量50

一、低真空度的测量51

二、高真空度的测量57

三、真空测量仪62

复习题65

第五章 真空镀膜设备66

5—1 真空镀膜机66

一、抽气系统70

二、真空室72

三、电气系统75

四、膜厚监控装置77

5—2 真空镀膜机的安装调试与维护保养77

一、安装与调试77

二、真空系统的检漏79

三、维护保养81

5—3 夹具与蒸发源82

一、真空镀膜夹具82

二、蒸发源84

复习题89

第六章 真空镀膜工艺的基本知识90

6—1 膜层的形成90

一、成核过程90

二、生长过程92

6—2 膜层形成条件94

一、真空度94

二、洁净98

三、基底温度101

四、膜料处理103

五、蒸发105

6—3 膜厚监控109

一、目测法112

二、光电极值法116

6—4 工艺过程与操作步骤120

一、真空镀膜基本工艺120

二、操作步骤121

复习题125

第七章 薄膜镀制工艺126

7—1 金属反光膜的镀制126

一、金属反光膜简介126

二、铝反光膜的镀制128

三、镀制铝膜的保护膜131

四、银反光膜和它的保护膜的镀制140

五、金反光膜144

六、疵病分析与退膜144

一、增透的概念146

7—2 增透膜的镀制146

二、增透膜膜料的选择与镀制方法147

三、疵病分析与退膜152

7—3 分光膜的镀制153

一、分光膜的概念153

二、单层分光膜的膜料选择156

三、金属分光膜的镀制160

复习题165

第八章 化学镀膜166

8—1 酸蚀法167

一、酸蚀法简介167

二、稀酸溶液酸蚀法工艺168

8—2 离心法169

一、成膜原理169

二、镀增透膜170

三、镀分光膜173

四、离心法镀制工艺177

8—3 溶液还原法203

一、成膜原理203

二、镀膜设备与镀膜溶液的配制204

三、镀制方法208

四、常见疵病及其克服方法212

8—4 阳极氧化法216

一、阳极氧化法的基本概念216

二、阳极氧化法镀三氧化二铝的设备218

三、镀制工艺218

复习题219

第九章 薄膜质量的检测220

9—1 一般检查220

一、反射率的测量221

9—2 光学特性的检测221

二、透射率的测量223

9—3 机械强度的检验225

9—4 化学稳定性与低温试验228

一、潮湿空气试验229

二、盐水试验229

三、高、低温试验229

复习题230

第三篇 光学分划零件制造工艺基础231

笫十章 分划零件制造概述231

10—1 光学分划零件制造的意义231

10—2 分划零件及其制造方法232

一、分划零件232

二、分划零件的制造234

复习题235

11—1 缩仿机236

一、缩仿机构原理236

第十一章 刻划机床236

二、Q4901型缩仿机238

11—2 多头刻线机244

一、多头刻线机简介244

二、KJ_5型五轴刻线机245

11—3 长刻度机250

一、刻划机构251

二、分度机构253

三、工作台与导轨256

11—4 圆刻度机257

一、刻划机构258

二、分度机构260

三、工作台与轴系261

11—5 螺旋线刻划机262

一、采用齿轮、丝杆传动的组合263

三、采用丝杆、杠杆机构的组合264

二、采用丝杆、斜面滑块带动的组合264

复习题265

笫十二章 刻划刀具与夹具266

12—1 刻划刀具266

一、刀具材料的选择266

二、刻刀的种类267

三、刀具的研磨271

四、刻刀靠模272

12—2 刻划夹具274

一、长刻尺夹具276

二、圆度盘夹具277

三、分划板夹具277

四、定位具278

复习题279

一、刻划工艺280

第十三章 刻划工艺280

13—1 玻璃的直接刻划280

二、疵病分析283

13—2 刻划—腐蚀法283

一、玻璃坯料的清洗284

二、刻度蜡和保护蜡的配制及涂布285

三、腐蚀液及其应用296

四、填充着色303

五、线条疵病分析311

13—3 刻划—镀铬法313

一、刻度蜡的配制及涂布314

二、刻划316

三、镀铬316

四、线条疵病分析322

13—4 金属层的刻划工艺322

一、直接刻划金属层323

二、金属层的刻划—腐蚀法328

复习题331

第十四章 照相复制概述332

14—1 照相复制过程与特点332

14—2 照相复制基本原理334

一、卤化银感光胶的光化学原理335

二、铬盐感光胶的光化学原理337

三、光致抗蚀剂感光胶的光化学原理338

14—3 曝光与夹具341

一、曝光341

二、定位方法和夹具347

14—4 模版的制造350

一、对复制用工作模版的要求351

二、模版制作的常用方法351

复习题353

第十五章 照相复制工艺354

15—1 火棉胶干版照相复制工艺354

一、感光膜层及对它的要求355

二、零件的清洁357

三、结合液及其涂布358

四、火棉胶干版的制备359

五、曝光365

六、显影365

七、定影367

八、减薄与加厚369

九、自检及修版370

十、火棉胶干版常见疵病及克服方法375

15—2 虫胶照相—镀铬复制工艺377

二、虫胶感光胶379

一、粘辅助玻璃379

三、涂布、烘干383

四、曝光385

五、显影、染色、水洗385

六、修版387

七、除膜388

八、疵病分析392

15—3 银层聚乙烯醇照相—镀铬复制工艺394

一、感光胶的配制395

二、化学镀银397

三、腐蚀397

四、疵病分析401

复习题402

第十六章 分划零件的质量与检验403

16—1 表面质量和线条质量403

一、表面质量403

二、线条质量404

16—2 图形精度411

一、图形精度的含义411

二、图形精度的测量412

16—3 常用检验仪器414

一、显微镜414

二、台式投影仪415

三、阿贝比长仪417

四、万能工具显微镜420

五、常用检验仪器的维护与保养424

复习题425

第十七章 光栅426

17—1 概述426

一、光栅简介426

二、光栅的类型429

17—2 光栅制造简介432

一、刻划光栅433

二、复制光栅436

三、全息法制造光栅439

17—3 振幅型计量光栅的基本知识441

一、光栅常数441

二、光栅莫尔条纹441

三、莫尔条纹的几何解释444

四、光栅莫尔条纹宽度444

五、莫尔条纹的特点446

六、莫尔条纹测量原理447

17—4 振幅型汁量光栅的制造447

一、光栅刻划机447

二、刻划工艺450

三、检验464

复习题466

三、光栅的应用490