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前言1

第一篇 镀膜1

第一章 薄膜制备技术1

1-1 真空镀膜设备1

一、镀膜机1

二、真空泵3

1-2 薄膜淀积技术10

一、电子束蒸发11

二、反应蒸发17

三、真空溅射22

四、离子镀膜27

1-3 膜厚监控28

一、波长扫描法28

二、石英晶体振荡法32

复习题35

第二章 膜系及其镀制工艺36

2-1 膜系知识36

一、减反射膜37

2-2 常见典型膜系及其镀制工艺37

二、高反射膜44

三、分光膜51

四、滤光膜59

2-3 镀膜零件光学特性的测量71

一、光谱特性的测量71

二、折射率和几何厚度的测量77

2-4 常用的薄膜材料79

一、常用的金属薄膜材料79

二、常用的介质和半导体薄膜材料80

复习题86

第三章 化学镀膜87

3-1 减反射膜的镀制工艺87

一、概述87

二、镀制工艺88

3-2 透明导电膜的镀制工艺91

一、二氧化锡透明导电膜的形成原理和性能91

二、透明导电膜的镀制工艺92

四、透明导电膜的退修97

3-3 化学镀膜材料97

三、透明导电膜常见疵病及克服方法97

复习题99

第二篇 刻划101

第四章 刻划设备101

4-1 刻划机的安装条件101

一、温度101

二、安装基础104

三、防尘106

一、圆刻划机的安装和调试107

四、照明107

4-2 刻划机的安装和调试107

二、圆刻划机的精度测定114

三、长刻划机的安装和调试115

四、长刻划机的精度测定116

五、机床的维护保养与润滑116

4-3 光电跟踪118

一、光电显微镜118

二、光电跟踪122

一、光刻原理133

4-4 光刻设备133

二、长光栅定位闭环数控装置134

三、激光定位光刻机139

复习题141

第五章 刻划工艺142

5-1 刻划精度142

一、机床传动链的误差142

二、机床轴系的误差143

三、丝杆、螺母的分度误差148

四、摩擦力对机床工作精度的影响148

五、空回对刻划精度的影响149

六、零件坯料及装夹对刻划精度的影响150

七、环境对刻划精度的影响151

5-2 刻划夹具设计154

一、对夹具的基本要求154

二、六点定位原则156

三、定位方法158

四、工件的夹紧159

五、夹具设计159

复习题162

6-1 照相机163

一、制版照相机163

第六章 照相设备163

第三篇 照相163

二、制版镜头165

6-2 数字式刻度模版机176

一、主机178

二、电气系统182

三、模版机的使用182

6-3 光源186

一、概述186

二、各种光源的性能、特点及应用190

复习题194

第七章 照相工艺195

7-1 底版放大图的制做195

一、底图的绘制195

二、漆膜底图的刻制198

7-2 底版的初缩202

一、调整成像尺寸202

二、调整光源203

三、校正放大底图和照相机的位置206

四、调整焦距207

五、选择光圈与曝光时间208

7-3 底版的精缩208

7-4 超微粒干版212

一、概述212

二、合成方法213

三、配方214

四、乳剂制备216

五、干版涂布222

六、照相加工226

七、工艺分析230

八、商品超微粒干版233

九、超微粒干版的主要技术指标234

复习题237

第八章 精密分划测量238

8-1 长刻尺测量238

一、概述238

二、激光比长仪239

8-2 圆度盘测量250

一、度盘误差的概念250

二、圆度盘的检定255

三、度盘的测量259

复习题265

第四篇 光栅266

第九章 计量光栅的制造266

9-1 长光栅的投影光刻制造法266

一、概述266

二、投影光刻设备的原理266

三、光刻胶工艺268

9-2 圆光栅的制造273

一、机械刻划法273

二、光刻法287

9-3 计量光栅的复制292

一、长光栅的复制292

二、圆光栅的复制305

复习题313

第十章 物理光栅的制造315

10-1 物理光栅的基本知识315

一、光栅常数315

二、光栅方程式316

三、光栅的分光原理317

四、光栅级次及自由光谱范围318

五、光栅的能量分布320

六、反射光栅的闪耀及闪耀波长323

七、衍射光栅的角色散325

八、光栅的分辨本领327

九、鬼线328

十、伴线330

十一、杂散光330

十二、不规则能量分布331

10-2 物理光栅的刻划工艺333

一、刻划机334

二、刻刀356

三、坯料与镀膜367

四、工艺流程与实例370

五、质量初步分析375

10-3 物理光栅的复制379

一、“一次法”平面光栅复制379

二、“一次法”凹面光栅复制386

三、“二次法”平面光栅复制386

四、“二次法”与“一次法”平面光栅复制的比较387

五、“一次法”光栅复制工艺实例388

复习题389