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第1章总论1

1.1何谓特殊加工1

1.2特殊加工的发展经纬1

1.3特殊加工的分类2

第2章放电加工5

2.1放电加工的原理5

2.2脉衡性放电发生方式7

2.2.1电容器放电回路7

2.2.2电晶体放电回路11

2.2.3电晶体控制式电容器放电回路12

2.3放电加工的加工特性13

2.4低电极消耗放电加工15

2.5线切割放电加工17

2.5.1线切割放电加工之构成18

2.5.2线切割放电加工的加工特性19

2.5.3线切割放电加工与雕模放电加工21

2.6放电加工的控制技术与加工技术21

2.6.1放电加工的适应控制21

2.6.2电极进给(极间隙)控制23

2.6.3摇控放电加工24

2.6.4NC放电加工24

2.7放电加工的得失25

2.8放电加工的应用27

2.8.1雕模放电加工的应用27

2.8.2线切割放电加工的应用31

第3章电子束加工34

3.1电子束加工的原理34

3.2电子束加工的构成36

3.3电子束用为加工工具的特色38

3.4电子束加工的应用40

3.4.1电子束开孔加工40

3.4.2利用电子束的微小切削41

3.5电子束熔接的原理与构成42

3.6电子束用为熔接热源的特色44

3.7电子束熔接的应用46

第4章离子加工49

4.1离子束加工49

4.2离子蚀刻与溅散蚀刻50

4.2.1溅散蚀刻的构成51

4.2.2离子蚀刻的构成52

4.2.3溅散蚀刻与离子溅散的特色53

4.2.4溅散蚀刻及离子蚀刻的应用54

4.3溅散蒸着与离子镀金55

4.3.1溅散蒸着的原理与方式56

4.3.2离子镀金的原理与方式58

4.3.3溅散蒸着与离子镀金的特色及应用,与真空蒸着的比较60

第5章电浆加工65

5.1电浆喷柱加工66

5.1.1电浆喷柱加工的构成66

5.1.2电浆喷柱加工的特色及应用68

5.2电浆喷柱熔接71

5.3电浆熔射73

5.4电浆蚀刻74

5.4.1乾蚀的分类74

5.4.2电浆蚀刻的原理及构成75

5.4.3电浆蚀刻的特色及应用76

5.5电浆溅散复合蚀刻81

5.6电浆蒸着81

第6章雷射加工83

6.1雷射的发光机构83

6.2加工用雷射的种类、振荡状态及特色85

6.2.1固体雷射85

6.2.2气体雷射85

6.2.3半导体雷射86

6.2.4加工用雷射的振荡状态86

6.3雷射束加工88

6.3.1雷射束加工原理89

6.3.2雷射束加工的构成90

6.3.3雷射束加工的应用91

6.4电射熔接95

6.4.1雷射熔接的机构95

6.4.2雷射熔接的应用95

6.5雷射加工的优缺点,与电子束加工的比较97

第7章超音波加工100

7.1超音波加工的构成100

7.2超音波振动的发生与放大102

7.3超音波加工的加工机构104

7.4超音波加工的加工特性106

7.5超音波加工的优点与缺点108

7.6超音波加工的应用109

7.7超音波熔接112

7.7.1金属材料的超音波熔接112

7.7.2塑胶的超音波熔接113

第8章光蚀法与化学切削115

8.1光蚀法的工程115

8.2光罩的制作116

8.2.1制作放大原图116

8.2.2照相工程118

8.2.3光罩的种类119

8.3感光耐蚀膜121

8.3.1感光耐蚀膜的种类121

8.3.2感光耐蚀膜的形成124

8.4曝光124

8.4.1密着曝光124

8.4.2非接触式曝光125

8.4.3电子束曝光129

8.4.4X光曝光129

8.4.5远紫外线曝光129

8.5现象130

8.6湿蚀131

8.6.1蚀刻方式131

8.6.2蚀刻液(腐蚀液)131

8.6.3湿蚀法的加工形状133

8.6.4异方性蚀刻134

8.6.5选择腐蚀135

8.7光蚀法的应用135

8.7.1金属材料的腐蚀法136

8.7.2半导体的腐蚀138

8.8化学切削的加工140

8.8.1化学切削的覆罩法141

8.8.2化学切削的腐蚀法142

8.9化学切削的优点及缺点144

8.10化学切削的应用145

第9章化学镀金148

9.1化学蒸着148

9.1.1化学蒸着的原理148

9.1.2化学蒸着的特色150

9.1.3低温CVD与低压CVD151

9.1.4CVD的应用152

9.2电浆CVD153

9.3无电解镀金154

9.3.1无电解镀金的原理155

9.3.2无电解镀金的特色156

9.3.3无电解镀金的应用157

9.3.4选择无电解镀金160

9.4浸渍镀金161

第10章电解加工与电解研削163

10.1电解加工的一般构成163

10.2电解加工的加工速度及电流效率165

10.3电解加工的加工形状生成过程167

10.3.1平衡加工间隙的生成169

10.3.2倾斜面的平衡加工间隙169

10.4电解加工用的电解液169

10.4.1电解加工电解液的机能及特性169

10.4.2电解加工用电解液的种类170

10.5工具电极的设计、制作及加工条件的控制171

10.5.1工具电极的修正172

10.5.2工具电极的制作法173

10.5.3加工条件的自动控制174

10.6电解加工的特色174

10.6.1电解加工的优点及缺点174

10.6.2电解加工与放电加工的比较176

10.7电解加工的应用176

10.8电解研削的原理及构成180

10.9电解研削用电解液182

10.10电解研削用砂轮183

10.11电解研削的特色及优缺点184

10.12电解研削的应用186

第11章电铸加工188

11.1电镀与电铸加工188

11.2电铸加工的工程189

11.2.1母模种类190

11.2.2母模的表面处理191

11.2.3电铸金属及电铸浴的选择192

11.3电铸加工的优缺点193

11.4电铸加工的应用194

11.5电铸的应用技术199

11.5.1光电铸200

11.5.2复合材料的电铸202

11.5.3高速电铸204

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