《光刻掩膜版的制造》
| 作者 | 武汉无线电元件三厂编 编者 |
|---|---|
| 出版 | 武汉无线电元件三厂 |
| 参考页数 | 66 |
| 出版时间 | 1972（求助前请核对） 目录预览 |
| ISBN号 | 无 — 求助条款 |
| PDF编号 | 84945218（仅供预览，未存储实际文件） |
| 求助格式 | 扫描PDF（若分多册发行，每次仅能受理1册） |
一、制作超微粒干版工艺1
二、光刻掩膜图形的绘制6
三、刻图9
四、初缩照相工艺10
五、显影、停影、定影及水洗18
六、精缩照相20
七、真空蒸发铬版38
八、铬版复印45
九、44—KR型光刻掩膜版的制造51
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