《刻划照相光刻》求取 ⇩

第一章机械刻划工艺1

第一节 机械刻划工艺的发展概况1

第二节 工艺流程9

第三节 刻划刀具21

第四节 特种刻划零件实例26

第二章刻划设备42

第一节 长刻线机主要部件42

第二节 长刻线机精度问题49

第三节 激光定位长刻线机57

第四节 圆刻线机组成61

第五节 提高精度的途径72

第三章光学照相工艺总论92

第一节 照相工艺的发展92

第二节 光学照相工艺的特点94

第三节 常用术语100

第四节 光学照相车间的设计和要求108

第四章照相底板的制作113

第一节 照相底板的制作方法113

第二节 制版照相机的结构及其调校116

第三节 照相底图的制作127

第四节 照相制版镜头134

第五节 制版的感光材料153

第一节 基本工艺194

第五章照相复制194

第二节 照相复制感光胶210

第三节 照相复制的工艺类别240

第四节 直接光刻法263

第六章微细光刻技术283

第一节 光刻原理283

第二节 光致抗蚀剂287

第三节 光刻技术295

第四节 光刻设备304

第五节 光学检测设备321

第一节 微型机械326

第七章立体光刻326

第二节 微光学332

第三节 LIGA(X 射线深层光刻)技术339

第四节 立体光刻成型技术347

第八章长度检定371

第一节 长度检定的发展概况371

第二节 长度检定377

第三节 常用计量仪器398

第九章角度检定434

第一节 角度检定的发展概况434

第二节 测量术语437

第三节 常角法检验449

第四节 比较法468