《光致抗蚀剂光刻胶》

Enter Your Email
求助资料链接 (必填)
输入提取邮箱(必填)

目录1

第一章 光致抗蚀剂简介1

一、光刻工艺与光致抗蚀剂1

二、光致抗蚀剂的种类5

第二章 光致抗蚀剂的类型、感光机理和感光度8

一、光致抗蚀剂的类型及其感光机理8

二、光致抗蚀剂的感光度47

第三章 光刻工艺62

一、粘附62

二、光刻胶的光谱特性与最佳曝光条件71

三、涂胶与涂层厚度86

四、前烘焙与后烘焙89

五、腐蚀92

六、去胶101

七、清洁107

第四章 几种光致抗蚀剂的制备115

一、聚乙烯醇肉桂酸酯光致抗蚀剂115

二、PCDA-053光致抗蚀剂120

三、环化橡胶型光致抗蚀剂129

四、聚酯型光致抗蚀剂141

五、701正性光致抗蚀剂153

第五章 光致抗蚀剂的某些新发展与展望161

一、用于电子束曝光的光致抗蚀剂161

二、由聚合物涂层曝光直接腐蚀薄膜166

三、耐高温的光致抗蚀剂168

四、由表面光聚合形成光致抗蚀剂169

五、由单体直接聚合成感光性树脂171

六、光致抗蚀剂“胶卷”174

七、光敏化电荷转移聚合175

八、感光性树脂增感的研究176

1977年10月第1版《光致抗蚀剂光刻胶》由于是年代较久的资料都绝版了,几乎不可能购买到实物。如果大家为了学习确实需要,可向博主求助其电子版PDF文件(由中国科学院化学研究所 《光致抗蚀剂组》 1977年10月第1版 科学出版社 出版的版本) 。对合法合规的求助,我会当即受理并将下载地址发送给你。

Enter Your Email
求助资料链接 (必填)
输入提取邮箱(必填)

高度相关资料

缓蚀剂(1989 PDF版)
缓蚀剂
1989 北京:化学工业出版社
中华人民共和国国家标准  硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范  GB/T16527-1996(1997年5月第1版 PDF版)
中华人民共和国国家标准 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范 GB/T16527-1996
1997年5月第1版
实用场致发光学(1984 PDF版)
实用场致发光学
1984
场致发光  下(1974 PDF版)
场致发光 下
1974
场致发光  上( PDF版)
场致发光 上
胶东之光  1930-1937(1990 PDF版)
胶东之光 1930-1937
1990
通通透透刻光盘( PDF版)
通通透透刻光盘
成都:电子科技大学出版社
抗蚀剂及其微细加工技术(1989 PDF版)
抗蚀剂及其微细加工技术
1989 上海:上海交通大学出版社
胶粘剂(1999 PDF版)
胶粘剂
1999 北京:中国物资出版社
戚继光台州抗倭(1983 PDF版)
戚继光台州抗倭
1983 杭州:浙江人民出版社
场致发光(1964 PDF版)
场致发光
1964 北京:科学出版社
刻录光盘不求人(1998 PDF版)
刻录光盘不求人
1998 北京:人民邮电出版社
CD-R/RW光盘刻录ABC(1999 PDF版)
CD-R/RW光盘刻录ABC
1999 北京:清华大学出版社
应用热释光剂量学(1988 PDF版)
应用热释光剂量学
1988 北京:中国计量出版社
最光辉的时刻(1995 PDF版)
最光辉的时刻
1995 长春:时代文艺出版社

访客求助条款:还望您仔细阅读以下条款,继续浏览或使用服务表示其均得到您的认可:



➊️ 条款:请支持正版图书。肯定和感激作者及出版商的社会贡献,以及国Jia在「教育公平」上作出的努力。

➋️️ 条款:向博主支付任何费用都意味着在访客的主观意识下雇佣博主,形成博主受雇于访客的劳务关系。

➌ 条款:严禁恶意雇佣博主处理违法、有伤民族感情、有违优良传统、安全法规之内容,雇方需承担相关后果。

➍ 条款:博主会对受雇之资料内容进行安全审查,故而请不要求助或发布任何不法内容,此类求助直接退款。

➎ 条款:通常2小时内完成求助,深夜的求助最迟第二天12点前,个别特别疑难的会提前告知在24小时内完成。

➏ 条款:若包含多册(如上、下册)每次求助仅受理一册,除非原本一本就包含上下册内容,而非分多本发行。

➐ 条款:因资料保存年代久远、或受当时印刷技术限制而可能导致的质量风险,求助者需明了并自行承担。

➑ 条款:雇佣博主为您从事资料处理服务是收费的,其设定参照了北京市 最低工资标准 时薪来推算。