《真空检测仪表与装置》求取 ⇩

一、综述1

(一)国外真空工业迅速发展的原因1

(二)国外真空检测仪器仪表的发展概况2

1.全压强测量仪表(真空计)2

2.残余气体分析仪器(分压强计)3

3.检漏仪4

(三)国外真空镀膜技术的进展5

1.引言5

2.国际学术交流5

3.发展突出的课题7

(1)高速磁控溅射7

(2)干式蚀刻技术9

(3)低压感应加热蒸发源10

(4)离子镀膜10

(5)目前国外真空镀膜设备的结构类型10

(6)淀积过程的监控11

(7)真空镀膜技术在刀具上的应用12

(8)太阳能电池12

(9)建筑玻璃镀膜14

(10)真空镀铝薄膜材料的发展应用15

(11)激光加热技术用于真空镀膜15

(12)束流淀积技术15

4.结论15

二、国际学术会议论文及美国、日本真空学会年会论文选介17

(一)第八届国际真空会议(1980)论文选介17

(二)第七届国际真空冶金会议(1982)薄膜论文选介21

(三)美国真空学会第30届年会(1983)论文选介23

(四)日本真空协会第24届真空联合讲演会(1983)论文选介26

三、国外真空产品介绍32

(一)真空计32

1.英国爱德华公司(Edwards)产品32

2.日本真空技术公司(ULVAC)产品35

3.日本ANELVA公司产品36

4.日本岛津科学仪器公司产品37

5.意大利Officine Galileo公司产品37

6.联邦德国Leybold-Heraeus公司产品42

7.美国MKS公司产品45

(二)四极质谱计47

1.联邦德国Leybold-Hereus公司产品47

2.英国VG气体分析仪器公司(VG Gas Analysis)产品49

3.日本真空技术公司产品49

4.法国RIBER公司产品50

(三)检漏仪51

1.日本真空技术公司产品51

2.日本岛津科学仪器公司产品51

3.联邦德国Leybold-Heraeus公司产品52

(四)真空镀膜设备53

1.蒸发镀膜设备53

(1)美国Airco Temascal公司产品54

(2)美国Veeco公司产品54

(3)联邦德国Leybold-Heraeus公司产品54

(4)日本真空技术公司产品55

(5)日本昭和真空株式会社(SHUWA)产品56

(6)日本岛津科学仪器公司产品60

2.溅射镀膜设备60

(1)美国Airco-Temascal公司产品60

(2)美国Varian公司产品61

(3)日本真空技术公司产品61

(4)日本德田制作所(TOKUDA)产品62

(5)日本岛津科学仪器公司产品62

(6)联邦德国Leybold-Heraeus公司产品62

(7)列支敦士登Balzers公司产品64

(8)日本昭和真空公司产品64

3.离子镀膜设备66

(1)日本昭和真空公司产品66

(2)日本真空技术公司产品68

4.淀积过程监控及膜厚测量仪器68

(1)Inficon公司产品(联邦德国Leybold-Heraeus公司的子公司)68

(2)美国Airco-Temascal公司产品68

(3)美国Veeco公司产品68

(4)日本真空技术公司产品69

(5)英国Edwards公司产品71

(五)刻蚀设备及监控仪器72

1.美国Veeco公司产品72

2.美国Varian公司产品72

3.日本真空技术公司产品72

4.日本ANELVA公司产品73

5.英国Iontech有限公司产品74

6.法国Alcatel公司产品74

四、国外真空企业情况介绍76

(一)美国真空企业一览76

(二)日本真空企业及其产品一览表80

(三)日本各真空厂家及其产品情况介绍84

(四)其它国家真空企业情况简介88

五、参考文献91