《真空测量与检漏》求取 ⇩

绪论1

Ⅰ真空测量5

1 真空测量概述5

1.1 真空度的表征、单位和真空区域划分5

1.2 真空计分类7

1.3 真空计测量范围8

1.4 真空测量特点和真空计选择原则9

2 液位式真空计11

2.1 U型管真空计11

2.2 压缩式真空计13

3.1 热传导真空计的工作原理20

3 热传导真空计20

3.2 热传导真空计的测量范围22

3.3 电阻真空计24

3.4 热偶真空计27

3.5 已知混合气体成分真空度的测量30

3.6 热传导真空计的优缺点30

4 热阴极电离真空计31

4.1 热阴极电离真空计的工作原理31

4.2 普通型热阴极电离真空计32

4.3 热阴极电离真空计的性能及使用33

4.4 热阴极电离真空计的测量电路37

4.5 高压力热阴极电离真空计41

4.6 超高真空热阴极电离真空计45

5 冷阴极电离真空计54

5.1 普通型磁放电真空计54

5.2 倒置磁控管式真空计57

5.3 正磁控管式真空计59

6 其它真空计61

6.1 弹性元件真空计61

6.2 电容式薄膜真空计62

6.3 振膜真空计64

6.4 放射性电离真空计66

6.5 磁悬浮转子真空计67

7 分压力测量和残余气体分析70

7.1 概述70

7.2 四极滤质器74

7.3 其它质谱计83

7.4 识谱技术85

8 真空计校准94

8.1 概述94

8.2 静态膨胀法97

8.3 动态流导法100

8.4 标准压缩式真空计102

8.5 副标准真空计105

9 真空测量技术106

9.1 气体种类对真空测量的影响106

9.2 测量系统对被测系统的影响107

9.3 真空计规管安装位置和方法109

9.4 非均匀环境中的压力测量111

9.5 特殊条件下的真空测量111

Ⅱ检漏113

10 检漏概述113

10.1 漏气判断和漏孔表示法113

10.2 漏孔气流特性114

10.3 最大允许漏率的估算115

10.4 检漏方法分类116

10.5 对检漏方法的要求及选择117

10.6 检漏技术中的几个概念119

11 检漏方法的基本原理120

11.1 真空检漏法120

11.2 充压检漏法127

11.3 背压检漏法128

12 各种检漏方法133

12.1 静态升压法133

12.2 气泡检漏法134

12.3 氨气检漏法136

12.4 真空计检漏法138

12.5 离子泵检漏法139

12.6 其它检漏方法141

13 氦质谱检漏仪145

13.1 氦质谱检漏仪的工作原理145

13.2 氦质谱检漏仪结构147

13.3 探索气体150

13.4 氦质谱检漏仪的灵敏度及其校准151

13.5 氦质谱检漏仪的使用153

13.6 测量漏率时的误差来源162

14 其它检漏仪163

14.1 高频火花检漏仪163

14.2 卤素检漏仪165

14.3 气敏半导体检漏仪168

15 标准漏孔171

15.1 常用的标准漏孔171

15.2 标准漏孔的校准173

15.3 使用标准漏孔的注意事项177

习题178

参考文献183