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第一章 绪论1

1-1 概述1

1-2 真空度及其单位4

1-3 真空区域的划分6

1-4 真空测量的特点与真空测量仪表的分类7

一、真空测量的特点7

二、真空测量仪表的分类9

2-1 理想气体状态方程及气体定律12

第二章 真空测量的物理知识12

2-2 气体与蒸汽14

2-3 气体分子运动论的基本概念16

一、理想气体模型16

二、气体分子的热运动速度16

三、气体分子碰壁数与压强17

2-4 碰撞频率、平均自由程19

一、气体分子间的碰撞19

二、气体分子与电子、离子间的碰撞21

三、平均自由程与真空状态的关系22

2-5 气体的迁移现象23

一、气体的热传导24

二、气体的粘滞性26

三、气体的扩散28

2-6 气体的放电和电离现象28

一、气体放电和电离过程29

二、气体放电的种类29

2-7 固体的吸气和放气现象30

一、气体的吸附和吸收31

二、加速固体吸气的其他因素33

三、气体的解吸34

3-2 热导式真空计35

一、工作原理35

3-1 概述35

第三章 粗真空和低真空测量仪表35

二、热偶真空计38

三、电阻真空计50

四、已知混合气体成分的真空度的测量61

3-3 放电管真空指示器61

一、工作原理61

二、根据放电辉光的颜色来鉴别气体种类64

3-4 放射能电离真空计65

一、工作原理65

二、β线放射能电离真空计67

三、气体种类对测量结果的影响70

一、弹性式真空表71

3-5 静态变形式真空计71

二、电容式薄膜真空计74

三、电容式薄膜真空计的进展77

3-6 振膜式真空计79

一、特点79

二、工作原理79

三、振膜式真空规管81

四、振膜式真空计的电路结构83

4-2 热阴极电离真空计86

一、结构原理86

4-1 概述86

第四章 电离式高真空测量仪表86

二、电离规管的灵敏度90

三、测量仪器结构96

四、加速极电源和收集极电源97

五、除气方法及除气电源98

六、发射电流稳定装置99

七、离子流测量放大器103

八、规管自动保护装置110

九、电离真空计电路111

十、测量方法113

十一、测量范围114

十二、气体成分的影响115

十三、电离真空计的特点116

4-3 复合式电离真空计116

一、实用价值116

二、电路结构117

4-4 高压强热阴极电离真空计122

一、概述122

二、扩展测量上限的条件122

三、抗氧化、抗中毒阴极的采用124

四、规管结构125

五、高压强电离真空计电路127

六、高压强电离真空计的发展131

4-5 冷阴极电离真空计133

一、概述133

二、结构原理134

三、冷阴极电离规管136

四、测量电路137

五、测量方法139

六、主要性能和存在问题140

第五章 超高真空测量仪表143

5-1 概述143

5-2 B-A式真空计的结构原理144

5-3 B-A式规管148

一、规管结构尺寸150

二、工作性能154

三、B-A式金属规管158

5-4 B-A式规管工作电源159

5-5 发射电流稳定装置161

一、电子管对称输出变压器法161

二、连续式晶体管稳流法162

三、开关式晶体管稳流法163

四、可控硅元件稳流法164

一、对微弱离子流测量的要求167

5-6 微弱离子流测量放大器167

二、离子流测量放大器168

三、对数式离子流测量放大器177

5-7 B-A式电离真空计电路180

5-8 测量方法要点182

5-9 数字式超高真空电离计184

一、数字式超高真空计的结构185

二、电流-电压转换电路186

三、低量程数字电压表的结构特点187

四、参量单位及量限倍率显示187

5-10 宽量程B-A式真空计188

一、宽量程B-A式规管的结构原理188

二、宽量程B-A式规管的主要性能190

三、对宽量程B-A式真空计测量电路要求192

第六章 极高真空测量及仪表193

6-1 影响极高真空测量的主要因素193

6-2 测量方法介绍194

6-3 对B-A式真空计的改进195

一、细丝式规管195

二、调制式规管196

三、抑制式规管197

四、弯注抑制式规管199

五、提取式规管202

一、主要类型203

6-4 冷阴极磁控式极高真空计203

二、冷阴极磁控式规管结构原理和工作特性204

三、冷阴极正磁控式极高真空计208

6-5 热阴极磁控式极高真空计217

一、结构原理217

二、抑制式热磁控极高真空计221

三、抑制式热磁控规管223

四、发射电流的稳定方法226

五、振动电容式微电流放大器228

六、规管除气电源234

6-6 极高真空测量技术的展望235

7-1 测量方法238

第七章 封闭电真空器件的真空度测量及仪表238

一、测量原理和方法240

7-2 封闭电视显象管的残余气体压强测量仪表240

二、电极接法和发射电流的选用243

三、仪器结构243

7-3 电子管的残余气体压强的测量246

第八章 真空规管的制造250

8-1 概述250

8-2 真空规管材料250

一、金属电极材料250

二、绝缘材料254

一、化学处理256

8-3 材料的清洁处理256

二、化学电抛光处理258

三、金属零件的热处理258

8-4 电离规管电极结构特点与特殊工艺259

一、阴极259

二、电子加速极261

三、芯柱和单引线262

四、金属裸规263

8-5 真空规管玻壳制造及其涂覆265

一、金属导电膏的制造265

三、氧化锡导电膜的制造266

二、金、铂导电膜的涂覆266

四、可伐管的封接267

8-6 真空规管装配的特殊要求267

一、装架267

二、封口268

三、排气268

四、灵敏度检验269

第九章 真空测量仪表的校准、使用的维修270

9-1 真空测量仪表的校准270

一、概述270

二、绝对真空计校准法271

三、产生已知压强的校准法284

四、副标准真空计校准法292

9-2 真空测量仪表的使用293

一、真空测量仪表的选用方法293

二、规管与真空系统的安装方法294

三、规管的吸气和放气以及温度对测量的影响302

9-3 真空测量仪表的维修305

一、真空测量仪表的维护和保管305

二、几种真空仪表的常见故障及检修方法308

附录319

参考文献324