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绪论1

第一章 真空与真空度3

第一节 真空的概念3

第二节 真空度的单位4

习题6

第二章 真空计量基础知识7

第一节 理想气体状态方程及气体定律7

第二节 气体分子的热运动9

第三节 理想气体分子运动论的一些观点12

第四节 真空区域的划分17

第五节 气体与蒸气21

第六节 真空系统的一些概念和基本方程23

第七节 真空系统中气体的流动26

第八节 流导的计算27

本章小结29

习题30

第三章 真空的获得与检漏32

第一节 获得真空的方法和真空泵的参量32

第二节 机械泵34

第三节 分子泵38

第四节 扩散泵40

第五节 吸附泵、离子泵、低温泵、无油真空系统43

第六节 真空材料、零件及其处理47

第七节 真空系统的检漏51

习题55

本章小结55

第四章 真空测量仪表56

第一节 真空测量的特点和测量仪表的分类56

第二节 弹簧管式真空表57

第三节 热导式真空计59

第四节 普通热阴极电离真空计64

第五节 B--A式超高真空电离计71

第六节 其他真空计简介76

本章小结78

习题78

第五章 真空计的校准80

第一节 U型管真空计法80

第二节 标准压缩式真空计法82

第三节 静态膨胀法87

第四节 动态流导法91

第五节 直接比较法95

第六节 真空计线路的校准98

本章小结103

习题103

第六章 实用真空测试技术105

第一节 真空泵抽速的测定105

第二节 标准漏孔及其漏率的测定108

第三节 封闭电真空器件的真空度测试110

第四节 复杂形状容器的容积测量113

第五节 低温技术与真空、电冰箱致冷系统的检漏与充致冷剂118

本章小结121

参考书目122

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