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第1章 绪论1

1 长度计量基准及其沿革1

目录1

2 长度计量的量值传递4

3 我国几何量计量测试概况4

第2章 几何量计量测试中常用的传感器4

1 电感式传感器6

1.1 类型与转换电路示例6

2.1 电容式传感器类型与转换电路9

1.2 结构示例9

2 电容式传感器9

2.2 结构示例与使用注意问题13

3 电触点式传感器13

3.1 类型与配用电路13

3.2 主要误差及其测定方法15

4 压电式传感器15

4.1 压电效应与压电材料15

4.2 压电式传感器的晶片连接与等效电路16

4.3 结构示例及使用特点17

5 光电式传感器18

5.1 几种常用的光电传感器18

5.2 光电传感器常用的转换电路20

6 光栅式传感器21

6.1 计量光栅的类型与常用光学系统21

6.2 莫尔条纹的特性及种类23

6.3 应用光栅式传感器需要注意的问题25

7.1 类型与绕组结构26

7 感应同步器26

7.2 工作原理与输出信号处理方式28

7.3 安装与接长29

8 磁栅式传感器30

8.1 磁栅31

8.2 磁头32

8.3 信号处理方式32

9.1 激光器与激光特性34

9.2 各种激光传感器34

9 激光式传感器34

10 射线式传感器36

10.1 射线测厚原理和方式37

10.2 常用的射线源38

10.3 常用的探测器39

11 光纤传感器39

11.1 光纤的结构和种类39

11.2 光纤传感器的分类40

第3章 几何量计量器具的基本组件和系统41

12其他传感器41

1 量仪的机械构件43

1.1 导轨43

1.2 支承49

1.3 轴系53

1.4 传动放大机构53

1.5 测力机构61

2 量仪的光学系统63

2.1 准直及望远系统63

2.2 显微系统65

2.3 干涉系统66

2.4 投影系统67

2.5 瞄准定位系统68

2.6 光学机械细分系统70

3 量仪的基本电路73

3.1 模拟式电路74

3.2 数字式电路83

3.3 抑制干扰技术99

3.4 量仪基本电路的发展趋势102

1.1 游标计量器具103

第4章 常用几何量计量器具及仪器103

1 机械式计量器具103

1.2 螺旋副计量器具105

1.3 机械式测微仪110

2 光学计量仪器118

2.1 显微镜类光学计量仪器118

2.2 投影类光学计量仪器133

2.3 自准直与光学杠杆类光学计量仪器138

2.4 光波干涉类光学计量仪器144

3.1 电动测微仪152

3 电动量仪152

3.2 圆度仪160

3.3 光电瞄准装置164

3.4 测厚仪168

3.5 主动测量仪171

3.6 自动分选机172

4 气动测量技术172

4.1 气动测量原理和仪器的工作特性172

4.2 几种常见气动量仪的结构和工作原理176

4.3 气动测量头结构和一般设计183

4.4 气动测量应用示例191

4.5 气动量仪使用注意事项和一般故障排除192

5 三坐标测量机194

5.1 概述194

5.2 测量系统203

5.3 三坐标测量头206

5.4 数据处理及程序编制212

5.5 坐标测量机的准确度218

5.7 三坐标测量机的应用222

5.6 坐标测量机的检定222

6 利用微机改造现有量仪示例232

6.1 现有量仪的改造232

6.2 量仪改造示例233

第5章 长度计量标准及其检定237

1 波长检定237

1.1 波长标准237

1.2 空气折射率240

1.3 拍频测量波长241

1.4 用法布里-珀罗干涉仪检定波长244

1.5 用直接计数干涉条纹检定波长246

1.6 波长检定的准确度248

2 量块及其检定248

2.1 基本概念248

2.2 量块的技术要求254

2.3 量块的检定258

3 线纹尺及其检定266

3.1 概述266

3.2 标准线纹尺的类型、用途及技术要求267

3.3 标准线纹尺的检定269

第6章 长度尺寸的测量276

1 常用尺寸段的尺寸测量276

1.1 尺寸及其精度276

1.2 用光滑极限量规检验轴、孔尺寸278

1.3 用通用计量器具测量长度尺寸284

1.4 交点尺寸和相关尺寸的测量301

1.5 长度尺寸的自动检测311

2.1 概述315

2 大尺寸测量315

2.2 大尺寸的直接测量316

2.3 大尺寸的间接测量322

2.4 用极限量规检验大尺寸332

2.5 大尺寸计量器具的选择334

3 小尺寸测量335

3.1 小尺寸件及其测量的特点335

3.2 细丝直径测量336

3.3 小孔直径测量343

3.4 薄膜厚度测量347

3.5 镀层与涂层厚度测量352

3.6 小宽度测量365

3.7 小尺寸测量技术的发展简介371

第7章 角度与圆分度测量374

1 基本概念374

1.1 角度单位与换算374

1.2 平面角计量器具检定系统375

2 圆分度误差及其测量方法375

2.1 圆分度误差表示法375

2.2 圆分度误差基本测量法378

3.1 圆分度计量器具397

3 平面角工作计量器具397

3.2 常用角度计量器具411

4 平面角主要计量标准器具及检定425

4.1 面角度类425

4.2 线角度类450

4.3 小角度类460

5 角度测量464

5.1 零件平面间夹角的测量464

5.2 圆锥角测量465

5.3 光学零件角度测量469

1 形状误差测量476

1.1 形状公差与形状误差476

第8章 形状和位置误差测量476

1.2 直线度误差的测量477

1.3 平面度误差的测量493

1.4 圆度误差的检测502

1.5 圆柱度误差的检测513

1.6 轮廓度误差的检测518

2.1 位置公差与位置误差527

2 位置误差测量527

2.2 平行度误差的测量529

2.3 垂直度误差的测量534

2.4 倾斜度误差的测量539

2.5 同轴度误差的测量543

2.6 对称度误差的测量545

2.7 位置度误差的测量549

2.8 跳动的测量552

2.9 位置量规554

第9章 表面粗糙度测量561

1 基本概念561

1.1 表面微观几何形状的特性561

1.2 评定基准561

1.3 取样长度和评定长度563

1.4 评定表面粗糙度的参数565

1.5 表面粗糙度测量方法综述及测量的基本原则571

2.1 针描法的测量原理和特点573

2 针描法测量表面粗糙度573

2.2 触针式测量仪器(轮廓仪)的主要类型576

2.3 触针式仪器的调整和使用578

2.4 粗糙度参数的测量及处理方法580

3 显微干涉法测量表面粗糙度582

3.1 显微干涉法的测量原理和类型582

3.2 干涉显微镜的使用和调整584

3.3 测量粗糙度的方法585

4 光切法测量表面粗糙度587

4.1 光切法测量原理587

4.3 测量粗糙度的方法588

4.2 仪器放大倍率的确定588

5 比较法检验表面粗糙度589

5.1 表面粗糙度比较样块589

5.2 比较样块的检定594

6 表面粗糙度的其他检测方法594

6.1 印模法间接测量594

6.2 光散射技术595

6.3 电容测量法597

6.4 三维表面形貌测量598

7.1 表面波纹度的评定600

7 表面波纹度的评定和测量600

7.2 表面波纹度的测量方法602

第10章 螺纹的检验与测量603

1 概述603

2 普通螺纹的标准系列、基本牙型和基本尺寸603

2.1 普通螺纹的标准系列603

2.2 普通螺纹的基本牙型和基本尺寸603

4.1 锯齿螺纹的标准604

4 锯齿螺纹的标准和牙型尺寸604

3.1 梯形螺纹新标准系列604

3 梯形螺纹新标准系列、基本牙型和基本尺寸604

3.2 梯形螺纹的基本牙型和基本尺寸604

4.2 牙型尺寸605

5 管螺纹的标准和基本尺寸606

5.1 概述606

5.2 圆锥管螺纹的标准和基本尺寸607

5.3 圆锥管螺纹的公差609

5.4 GB7306—87管螺纹的标记610

6.1 螺纹检测与作用中径611

6 螺纹检测的基础知识611

6.2 普通螺纹公差带位置、公差等级和旋合长度613

6.3 螺纹牙底形状613

6.4 螺纹的标记614

7 用螺纹量规检验螺纹615

7.1 螺纹极限量规在螺纹检验中的作用615

7.2 普通螺纹量规标准的分类615

7.3 螺纹量规的名称、代号、功能及特征615

7.4 检验梯形螺纹的螺纹量规618

7.5 螺纹量规的使用623

8.1 大径和小径的测量624

8 圆柱外螺纹参数的机械接触测量法624

8.2 中径的测量626

9 圆柱外螺纹参数的光学测量法638

9.1 中径的测量639

9.2 螺距的测量640

9.3 牙型半角的测量640

10 内螺纹的测量640

11.1 圆锥管螺纹的检验649

11 管螺纹的检验和测量649

11.2 圆锥管螺纹单参数的测量657

12 精密丝杠的测量665

12.1 梯形丝杠的标准665

12.2 丝杠测量仪器结构选择的一般原则667

12.3 丝杠螺距的测量668

12.4 螺旋线误差的离散采样测量669

12.5 用精密丝杠动态检查仪测量丝杠669

13.1 滚珠丝杠的牙型种类及参数定义671

13 滚珠丝杠的测量671

13.2 滚珠丝杠副主要测量项目的公差要求672

13.3 滚珠丝杠的测量673

第11章 齿轮测量677

1 圆柱齿轮的测量677

1.1 齿圈径向跳动的测量684

1.2 齿距偏差和齿距累积误差的测量685

1.3 基节偏差的测量697

1.4 齿形误差的测量699

1.5 齿向、螺旋线和接触线的测量712

1.6 齿厚的测量717

1.7 公法线长度的测量731

1.8 圆柱齿轮的综合测量737

1.9 齿轮整体误差测量法742

2 圆锥齿轮的测量756

2.1 圆锥齿轮的基本参数、几何尺寸的计算和精度规范756

2.2 圆锥齿轮的单项测量774

2.3 圆锥齿轮的综合测量784

2.4 圆锥齿轮的滚动检查789

3.1 蜗杆蜗轮传动的基本知识794

3 蜗杆与蜗轮的测量794

3.2 蜗杆的测量804

3.3 蜗轮的测量811

3.4 精密蜗杆副传动的测量813

3.5 蜗杆副接触斑点的检查813

第12章 激光技术在长度计量中的应用813

1 激光的基本概念816

1.1 激光器的组成816

1.2 激光器的工作原理816

1.3 激光器的分类816

1.4 激光的特性817

2 长度计量中的常用激光器件及其控制技术821

2.1 气体激光器(表12-7)821

2.2 固体激光器(表12-8)822

2.3 半导体激光器(表12-9)822

2.4 激光控制技术823

3 激光准直测量828

3.1 激光准直仪828

3.2 提高准直精度的主要方法833

3.4 激光准直仪的扩展应用835

3.3 激光准直仪的特点及类型835

4.1 激光干涉仪的种类及特点837

4 激光干涉测量技术837

4.2 单频激光干涉仪841

4.3 双频激光干涉测量847

4.4 干涉仪的精度改善及检验852

4.5 剪切干涉测量854

4.6 全息测量859

4.7 散斑于涉测量862

5.1 光衍射865

5 激光衍射测量865

5.2 波带板866

5.3 衍射测量的基本方法867

5.4 衍射测量精度与量程869

6 激光测距869

6.1 脉冲测距技术869

6.2 相位测距技术869

主要参考文献871

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