本书系统地介绍了RFMEMS技术所涵盖的各种器件，以RFMEMS理论设计和工艺实现为基础，阐述了RFMEMS器件的模型设计、结构制备、性能测试等，详细论述了RFMEMS开关、电感、电容、移相器、谐振器、振荡器、滤波器、天线等器件和RFMEMS器件的可重构MEMS网络的设计方法、技巧以及工艺技术。最后两章论述了RFMEMS器件的封装技术和可靠性问题。

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