《微光机电系统》高清PDF
作者:(日)泽田廉士,(日)羽根一博,(日)日暮荣治著;李元燮译
出版:北京:科学出版社
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出版时间:2005.01 (求助前请核对清楚)
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本书第一篇介绍微光机电系统在各领域中的应用,即开关、反射镜阵列、显示器等;第二篇介绍微光机电系统中应用的光学原理,即光的反射与折射、干涉、衍射等;第三篇介绍材料、制造、封装等。
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