《硅微型惯性器件理论及应用》高清PDF
作者:王寿荣编著
出版:南京:东南大学出版社
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出版时间:2000.10 (求助前请核对清楚)
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普通高等学校规格教材:本书内容包括微型惯性器件的物理基础,硅微型惯性器件的原理结构及误差分析,硅微型惯性器件的制备工艺,硅微型惯性器件的组合及应用等。
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