《硅单晶抛光片的加工技术》高清PDF
作者:张厥宗编著
出版:北京:化学工业出版社
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出版时间:2005.08 (求助前请核对清楚)
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本书在介绍半导体硅及集成电路有关知识的同时,简单介绍半导体工业及国内、国外半导体材料硅单晶、抛光片技术的发展和动态,重点阐述了硅单晶抛光片的加工制备技术,大直径硅片的运、载,硅单晶、抛光片的测试,洁净室技术及三废处理等内容。
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