《微电子机械系统》高清PDF
作者:姜岩峰编著
出版:北京:化学工业出版社
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出版时间:2006.03 (求助前请核对清楚)
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本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容,对该领域的热点研究问题进行了探讨。
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