21世纪高职高专系列教材 电子技术专业:本书共15章,介绍了硅单晶制备;外延、氧化、溅射、化学气相淀积等薄膜制备技术;扩散、离子注入等掺杂技术;制版、光刻、刻蚀、CAD等图形加工技术等。

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