《集成电路制造技术教程》高清PDF
作者:李惠军编著
出版:北京:清华大学出版社
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出版时间:2014.09 (求助前请核对清楚)
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本课程教学内容讲授现代集成电路制造基础工艺,重点阐述核心及关键制造工艺的基本原理。教学内容共分为十六章节。本书内容丰富、文字简练、图文并茂、结合实际,较为详尽地阐述了当代集成电路制造领域的核心知识点。
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