《集成电路制造工艺》高清PDF
作者:孙萍主编;张海磊,袁琦睦副主编;秦明主审
出版:北京:电子工业出版社
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出版时间:2014.09 (求助前请核对清楚)
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本书围绕微电子产业链的发展状况,以集成电路制造工艺流程为主线,介绍了集成电路从衬底制备,芯片制造到封装测试的工艺原理及工艺操作流程,同时以较先进的CMOS工艺和集成电路工艺设计作为对各核心工艺的总结与提升,为从事集成电路设计、制造、封测的技术和操作人员提供了良好的工艺理论和实践操作的基础。
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