作者：（美）库比著 出版：北京：国防工业出版社 页数：135    ✅ 真实服务 非骗流量  ❤️ 出版时间：2014.11 （求助前请核对清楚） 求助编号：9136700000 （学习资料 勿作它用） 求助格式：PDF（无水印/扫描版）我要投诉 重要说明：求助即说明同意《文件求助条款》   Word/doc、ePubb、mobi、PPT、TXT

    • 在本书中描述和分析了大量的设计案例，涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试；此外，在本书每章的最后，都描述了MEMS设计的实践和挑战，并提供了相关的解决方案。

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