《半导体器件典型缺陷分析和图例》高清PDF
作者:张延伟主编
出版:北京:中国科学技术出版社
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出版时间:2004.06 (求助前请核对清楚)
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本书主要论述了如何对半导体器件内部、外部缺陷进行观察判断,并对相关经验进行了总结。
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