《表3 仿真网格参数：压电传感器频响及抗干扰特性多物理场分析研究》

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《压电传感器频响及抗干扰特性多物理场分析研究》

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考虑传感器工作环境，传感器底部被固定安装在被测物上，在高频力场环境中工作。设置传感器所有材料处于固体力学物理场中，传感器下表面为固定约束，在传感器上表面施加沿Z轴方向的30kPa、5 k Hz的边界载荷，仅压电层为压电材料且处于静电物理场，压电层下表面接地，上表面为终端，最后通过压电效应耦合固体力学与静电物理场。利用COMSOL软件自带四面体划分网格，划分网格参数如表3所示。