《表2 层压压力与收缩率关系试验》

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《LTCC基板关键工艺问题解决方案》


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如上表2所示,通过多轮的层压试验,实测LTCC收缩率与LTCC“层压压力-密度-收缩率”关系曲线上收缩率误差约为0.2%~0.3%,依此指导实际生产。在武协LTCC制造中,工艺设计收缩率15.8%,为达到次收缩率,因为上述试验证明实测LTCC收缩率与曲线上收缩率误差约为0.2%~0.3%,因此要到达15.8%的收缩率,应选用16%收缩率所对应的层压压力,即力3000psi。实际效果表明效果较好,达到了设计收缩率。