《表1 选取的气体静压轴承尺寸与参数》
综合上式的计算结果和气体静压转台整体结构尺寸,分析并取定气体静压轴承的具体尺寸和参数,见表1。
图表编号 | XD0092253200 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.09.15 |
作者 | 曹明琛、赵家宁、刘孟奇、赵强、白金峰、赵凌宇、顾亚文、谢瑞清、赵惠英 |
绘制单位 | 北京微纳精密机械有限公司、西安交通大学机械工程学院、北京微纳精密机械有限公司、北京微纳精密机械有限公司、北京微纳精密机械有限公司、西安交通大学机械工程学院、北京微纳精密机械有限公司、西安交通大学机械工程学院、北京微纳精密机械有限公司、西安交通大学机械工程学院、北京微纳精密机械有限公司、西安交通大学机械工程学院、中国工程物理研究院激光聚变中心、西安交通大学机械工程学院 |
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