《表1 工艺参数对产品微观结构与性能的影响[2]》

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《多孔氮化硅陶瓷制备及其性能研究进展》

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反应烧结是剧烈的放热反应过程，因此局部温度会超过硅的熔点，硅熔融团聚后减少与氮气接触的面积，很难达到完全的氮化。为了得到理想的烧结体，需要在氮化初期就形成相互桥连的结构，将硅颗粒固定在原位，然后再升高温度，使得熔化的硅颗粒无法相互熔合，实现高的氮化率。影响反应烧结工艺的控制因素较多，如颗粒尺寸、气氛、升温制度、烧结助剂等。几种不同的条件共同作用可能会导致反应烧结的结果偏离常态，表1为工艺参数对产品微观结构与性能的影响。