《表1 行波管放大器与固态放大器的比较》

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《微波/毫米波功率模块及其应用对微波光子器件的需求》

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微波真空功率器件和微波固态器件各有特点。真空器件高电压、低电流，单个器件功率大、效率高、耐高温，系统成本低，但工艺生产一致性不如固态器件，而且存在单件体积大、电源电压高等需要克服的问题。固态器件低电压、大电流，小体积，半导体工艺生产的一致性好，更适合密集有源阵列应用，但需要克服高频段功率小、效率低、温度漂移大和系统功耗大等问题[1]。表1是行波管放大器（TWTA）与固态功率放大器（SSPA）的性能和应用的对比[2]。自从半导体固态电子器件诞生以来，固态电子器件就开始在某些领域取代真空电子器件，两者开始竞争。随着半导体技术，特别是化合物半导体和微电子工艺的发展，固态微波器件发展迅速，近年来固态微波器件中的低频器件在相控阵系统得到了广泛应用。伴随着真空电子学在真空微电子学、集成真空电子学、太赫兹（THz）真空电子学的发展和应用，真空器件和半导体固态器件在技术之间地不断融合，导致了微波功率模块的诞生[3]。