《表2 半导体制造领域基础性技术主题专利分布》

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《特征分析视角下半导体制造产业关键技术分布研究》

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基于Jaccard相关系数矩阵，利用Ucinet科学结构演化软件对各时段的半导体制造专利进行Girvan-Newman共被引聚类分析以识别各时段的基础性技术主题，分析结果如表2所示。