《表2 单片上表面阀值范围》

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《基于DSP晶圆传输平台自动识别算法的研究》

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通过片盒内各槽单片上表面码盘值，偏角范围对应的码盘值angleEncoder，晶圆在槽内相对移动带来的偏差估算值estimateValue，确定单片上表面阀值范围，单片上表面最小阀值=单片上表面码盘值–BiasEncoder，单片上表面最大阀值=单片上表面码盘值+BiasEncoder，具体数据如表2所示。跨片上表面最小阀值=跨片上表面码盘值+BiasEncoder*经验系数，跨片上表面最大阀值=跨片上表面码盘值+BiasEncoder*经验系数。跨片上表面阀值范围如表3所示。