《表1 氮化硅的化学组成》

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《氮化硅陶瓷气压烧结工艺研究》

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本实验使用的氮化硅粉体由本单位自制而成。其化学组成如表1所示，其α相含量为93%，比表面积在7-10 m2/g，粒度分布及微观结构分别见图1、图2。氧化铝、氧化钇纯度为99.9%以上，粒度均<3μm。