《表4 模型等效应力比较》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《电容式湿度传感器多孔上电极受力可靠性分析》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

单位:Pa

等效应力这一数据和等效弹性应变的数据有着相似之处，通过图7以及表4的数据分析得出，自主设计的环形多孔上电极小半径的栅条所受到的最大应力大约为条栅形多孔上电极的栅条所受应力的二十分之一，而环形上电极大半径的栅条所受的最大应力大约也只有条栅形的上电极的栅条所受应力的五分之一，数据充分说明，环形多孔上电极在等效应力方面拥有比条栅形多孔上电极更小的等效应力，也就是具有更高的可靠性，在光刻的过程中因过度腐蚀而断裂的可能性就会越小。