《表2 传感器参数统计表 (5 V供电)》

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《三轴高g值加速度传感器的测试技术研究》

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由上述方法，可依次进行X轴和Y轴方向冲击试验，标定得到传感器X轴和Y轴的灵敏度分别为0.394μV/g和0.379μV/g，非线性度分别为4.3%和3.2%，以X轴为方向冲击时交叉耦合误差≯7.2%，以Y轴为方向冲击时交叉耦合误差≯6.9%。综合以上试验结果统计三轴加速度传感器标定参数如表2所示。