《表1 生产厂房 (FAB) 设计概况》

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《南京台积电12英寸晶圆厂逆作法施工关键技术》

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南京台积电12英寸晶圆厂与设计服务中心一期项目位于南京市浦口经济开发区，是继联电、力晶之后台资赴大陆设立的第3个12英寸晶圆厂（见图1）。厂房总面积达32万m2，其洁净车间的洁净度为百级-千级。本项目共由9个建筑物单体组成，包括生产厂房（FAB）、动力厂房（CUB）、高压主变电站、甲类仓库、废弃物仓库、特气供应站、氢气站、硅烷站、天然气减压站等，占地面积45万m2。生产厂房（FAB）设计概况如表1所示。