《表1 阵列及彩膜工程主要有机化学品信息》

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《TFT-LCD行业VOCs来源及其处理技术比较》


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TFT-LCD即薄膜晶体管液晶显示器行业属于电子器件制造业,在国民经济行业分类中可归为C3969。TFT-LCD生产工艺由阵列、彩膜、成盒、模组四大工程组成。阵列工程的光刻工序(涂胶、显影、剥离)和彩膜工程的BM层、RGB层、PS层、OC层的生成工序会使用到大量的有机化学品,TFT-LCD行业挥发性有机物也主要来源于此。表1某TFF-LCD企业生产过程中使用到的有机化学品信息,根据挥发性有机物的定义可知,表中的原料均为含挥发性有机物的化学品,其主要成分为酯类物质。