《表1 不同膜层所需的清洗液成分表》
有机溶剂清洗:NMP和丙酮均为极性溶剂,能溶解大部分极性的有机物。因此设备部件表面的有机发光材料可溶解于NMP中,光刻胶可溶解于丙酮中。
图表编号 | XD0071601000 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2019.07.28 |
作者 | 张丽梅、刘宇 |
绘制单位 | 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司、信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
有机溶剂清洗:NMP和丙酮均为极性溶剂,能溶解大部分极性的有机物。因此设备部件表面的有机发光材料可溶解于NMP中,光刻胶可溶解于丙酮中。
图表编号 | XD0071601000 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.07.28 |
作者 | 张丽梅、刘宇 |
绘制单位 | 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司、信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |