《表1 不同膜层所需的清洗液成分表》

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《关于液晶面板行业生产设备清洗项目环保问题的探讨》


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有机溶剂清洗:NMP和丙酮均为极性溶剂,能溶解大部分极性的有机物。因此设备部件表面的有机发光材料可溶解于NMP中,光刻胶可溶解于丙酮中。