《表1 本征ZnO和掺Al的ZnO的晶格参数》

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《溶胶-凝胶旋涂法制备Al掺杂ZnO薄膜及其光电性能的研究》

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利用MDI Jade5.0XRD对衍射谱进行分析，通过计算发现随着掺杂量的增加（002）衍射峰晶面的衍射角从本征ZnO的34.762°增大到34.950°，这可能是因为Al 3+替换Zn2+之后，使得ZnO晶格发生畸变或者位错增加，从而使得样品的（002）衍射角朝着大角度的方向移动.表1为通过Bragg公式[12]计算得到的样品A0～A5的半高宽及其晶粒尺寸.