《表3 移动部分在上半球时的光束落点偏差及靶镜转角》

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《大口径精密光学系统中调焦机构静态稳定性分析》

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为了分析调焦机构的运动直线度，以此选取靶镜框左上角、右上角、右下角、左下角四个点的变形量分别记为δ1、δ2、δ3、δ4，通过以下公式计算出三个不同位置处调焦机构上靶镜框的转动角度，结果如表3、表4所示。