《表3 影响公差最大的参量》

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《高分辨率近红外成像光谱仪光学系统》

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#1:Tolerances of the radius.#2:Tolerances of the distance between two surfaces.#3:Tilt tolerances round the X orientation.

利用ZEMAX软件对系统进行了公差分析，其中设置偏心公差为±0.1 mm，倾斜公差为±0.1°，半径公差为±0.2 mm，间距公差为±0.1 mm，元件厚度误差为0.1 mm。这些公差设置属于光学系统中较容易实现的公差。以系统在900 nm处的点列图均方根半径值为准则利用蒙特卡洛法进行公差灵敏度分析，获得对系统影响最大的三个参数，如表3所示。