《表3 各工况下所需的校正力矩大小》

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《主镜半主动支撑的力矩校正方法研究》

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文中首先以初始镜面面形波前像差为像散力矩校正估算为例，将初始镜面面形的RMS值为归一化到1/10λ（λ=632.8 nm），其面形云图如图5所示。利用12种工况下的镜面变形校正归一化的标准Zernike一阶像散，得到的镜面面形云图如图6所示，其RMS值仅为2.97 nm，校正能力达到95.3%。由校正能力可以看出该力矩校正方法具有很好的校正像散的能力，表3为所需的各工况下所需的校正力矩的大小，其中所需的最大的校正力矩为My6，大小为20.1 Nmm。