《表2 不同结构与工艺下的SPAD性能比较》

《表2 不同结构与工艺下的SPAD性能比较》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《基于双电荷层结构的CMOS单光子雪崩二极管》


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为了更加客观对器件性能进行分析,选择相同工艺下具有单电荷层结构的SPAD[4]、窗口直径不同的SPAD[20]、窗口直径相同的SPAD[22]以及不同工艺下的SPAD[24]进行比较,结果见表2.