《表2 不同结构与工艺下的SPAD性能比较》
为了更加客观对器件性能进行分析,选择相同工艺下具有单电荷层结构的SPAD[4]、窗口直径不同的SPAD[20]、窗口直径相同的SPAD[22]以及不同工艺下的SPAD[24]进行比较,结果见表2.
图表编号 | XD0063367900 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.07.01 |
作者 | 许明珠、张钰、夏翠雲、逯鑫淼、徐江涛 |
绘制单位 | 杭州电子科技大学电子信息学院、杭州电子科技大学电子信息学院、杭州电子科技大学电子信息学院、杭州电子科技大学电子信息学院、天津大学微电子学院 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |