《表1 SiC反射镜材料属性》

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《径向温度梯度对轻量化反射镜面形精度的影响》

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式中：ρ*为单元等效密度；ρ为材料密度；hc为蜂窝芯高度；tf为前面板厚度；tb为后面板厚度。分析前验证有限元模型网格收敛性以确定单元尺寸，当模型单元尺寸由40mm减小到20mm时，仿真得到的镜面矢高、镜面曲率半径变化以及面形RMS值的最大相对误差小于5‰，因此确定模型单元尺寸为20mm。反射镜有限元模型如图1所示，单元数为4.43万，节点数为3.99万。模型的材料属性如表1所示。