《表1 GRMS计算结果》

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《大口径平面光学元件波前梯度数控抛光》


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在面形分布完全一致的前提下(如图2所示),采用美国WYKO公司商用软件及中国工程物理研究院激光聚变研究中心标准化中心自编准入软件(Phase Suite)分别对不同面形精度的波前信息进行GRMS计算,计算结果如图3和表1所示。