《表2 图2 (a) 中A点EDS分析结果》

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《ZnO纳米颗粒对Cu(Mo)/Sn-3.0Ag-0.5Cu-xZnO焊点界面IMC生长行为的影响》

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为了探明ZnO颗粒是否进入界面的IMC层，采用能谱点分析表征0.5wt%的ZnO纳米复合钎料的靠近Cu基板处A点的界面IMC成分，如图2（b）所示，元素含量见表2。可以看出，在靠近Cu基板处，存在Zn元素和Mo元素，由于Zn不与其他元素反应，因此Zn元素存在的地方为ZnO颗粒。根据文献及元素配比分析，得到IMC层靠近铜板处的成分主要是Cu3Sn。采用同样的方法对界面处靠近钎料处白色区域B点进行能谱点分析，如图2（c）及表3所示，发现Zn元素同样分布在界面白色区域处，而白色区域没有Mo元素。经元素配比分析，白色区域主要成分是Cu6Sn5。通过能谱分析，表明Zn元素分布在整个IMC层，即Cu6Sn5和Cu3Sn层。