《表1 命令代码列表：无线射频识别技术在CMP设备中的应用》

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《无线射频识别技术在CMP设备中的应用》

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上位机系统与读写模块通信规则制定:（1）通信波特率:9 600 bps，即每秒传送9 600比特；（2）命令帧格式:起始位+节点编码+命令代码+参数+校验码+终止位；（3）送命令帧之后，返回值的格式:起始位+节点编码+响应代码+参数+校验码+终止位。其中，起始位表示0x01一个字节，节点编码为0x01一个字节，命令代码及响应代码如表1、表2所示。校验码表示去掉前导头和校验码字节之外，所有通讯帧所含字节的异或值，终止位为0x0D一个字节。