《表3 钝化膜施主密度或受主密度的拟合结果》

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《Ti6Al4V钛合金渗碳层在HF中的腐蚀行为》

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图5给出了钛合金在HF腐蚀溶液中的MottSchottky曲线，并对Mott-Schottky曲线拟合得到施主密度或受主密度的值（表3）。测试电压为0 V～1 V，测试频率为1 kHz～100 kHz。该曲线为1 kHz下的Mott-Schottky曲线。从图5可见，未渗碳的Ti6Al4V钛合金有两种不同的半导体特性，在0 V～0.4 V范围内具有n型半导体特性，在0.4 V～1 V范围具有p型半导体特性。快速渗碳后的表面呈n型半导体特性，且随着温度的升高施主密度降低。实验结果表明，未渗碳的试样存在表面氧化膜和基体两种状态，在HF溶液中表面氧化膜呈n型半导体特性，基体呈p型半导体特性，p型半导体的受主密度增大了F-离子在表面的吸附并促进F-对表面的腐蚀[28，30]。渗碳试样的表面主要呈n型半导体特性。在0 V～0.4 V范围内平带电位较低，因为电位处于低电压时随着电压的升高钝化膜/溶液界面处的电子被消耗，使施主密度提高，平带电位低于0.4 V～1 V范围。n型半导体的施主密度随温度的升高而降低，即温度的升高使钝化膜的稳定性增加，表面的缺陷浓度降低，抗蚀性能增强。