《表2 不同温度下摆镜面形误差检测结果》

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《多节点激光通信天线“一体式”SiC/Al轻量化摆镜》

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当环境温度为15℃，摆镜面形误差PV值为0.163λ，RMS值为0.029λ，检测结果如图7（a）所示。当环境温度为20℃，摆镜面形误差PV值为0.116λ，RMS值为0.019λ，检测结果如图7（b）所示。当环境温度为25℃，摆镜面形误差PV值为0.147λ，RMS值为0.026λ，检测结果如图7（c）所示。实验结果表明，如表2所示，摆镜面形误差RMS值在（20±5℃）的温度范围内优于λ/25的指标要求，能够满足激光通信光学天线的使用条件。