《表1 理论模型与有限元模型求解结果对比》

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《基于传递矩阵的柔性精密定位平台刚度建模方法》

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应用Ansys14.0对该定位平台进行有限元分析，在SolidWork中建立几何模型，导入到该软件中，并按所选材料设定材料参数，单元类型选择为三维20节点实体单元Solid95，并进行网格划分，如图10所示。约束移动副的两端，分别在移动副的A点C点施加外力Fx及Fy，采集动平台中心o点位移uox和uoy。现取4对驱动力矢量，理论模型和有限元模型的求解结果如表1所示。由于此平台为对称机构，当Fx与Fy数值互换时，结果不变。