《表4 不同频率下的温差比较》

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《单晶炉双驱感应加热数值模拟研究》

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如表4所示，在不同频率（200，400，500，600 Hz）下，石墨套筒在Z轴方向从0到320 mm之间，最高温与最低温的温差分别为:20.8，82.1，132，175.3℃.在一定距离内，温度相差越大，说明温度变化幅度越大，其温度梯度也越大.只要保证熔体与晶体两者的温差不会轻易受其他因素影响即可.因此双驱加热装置通过合理的参数设定能够达到满足晶体生长的温度梯度.综合考虑，本文模拟计算时设定的频率为400 Hz.